| Найдено документов - 1 | Выборка документов | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Книга
Полочный шифр: 34.663.030.022я73 - З 234
Залётин, В. М. (Залетин В. М.).
Вакуумно-термическое получение тонких пленок : учебное пособие / В. М. Залётин, А. Н. Васина ; рецензент В. В. Бойко; редактор Е. В. Григорьева; Министерство образования Московской области; ГОУ ВПО МО "Международный университет природы, общества и человека "Дубна". Факультет естественных и инженерных наук. Кафедра нанотехнологии и новых материалов. — Дубна : Международный университет природы, общества и человека "Дубна", 2014. — 64 с. : ил. — Библиогр. список: с. 62. — ISBN 978-5-89847-411-9. — Текст : непосредственный + электронный.
Вакуумно-термическое получение тонких пленок : учебное пособие / В. М. Залётин, А. Н. Васина ; рецензент В. В. Бойко; редактор Е. В. Григорьева; Министерство образования Московской области; ГОУ ВПО МО "Международный университет природы, общества и человека "Дубна". Факультет естественных и инженерных наук. Кафедра нанотехнологии и новых материалов. — Дубна : Международный университет природы, общества и человека "Дубна", 2014. — 64 с. : ил. — Библиогр. список: с. 62. — ISBN 978-5-89847-411-9. — Текст : непосредственный + электронный.
Для просмотра необходимо войти в личный кабинет
Экземпляры: Всего: 3, из них: аб.-2 в наличии 2, ч/з-1 в наличии 1
Внешний ресурс:
Библиотечная система Университета "Дубна". Электронная версия. Доступ по номеру читательского билета и фамилии читателя
Подробнее
Авторы: Залётин В. М., Васина А. Н.
Отраслевые рубрики: машиностроение, металлообрабатывающие процессы
Ключевые слова: вакуумметр, вакуумное тонко-пленочное производство, вакуумные системы, импульсная электронная бомбардировка, импульсное лазерное испарение, металлизация, молекулярно-лучевая эпитаксия, напыление, насосы, пленочные технологии, подложки, подложкодержатели, резистивный нагрев, термическое испарение в вакууме, термическое напыление, тонкие пленки, электрический взрыв, электронно-лучевое испарение (ЭЛИ)
Индексы ББК: 34.663.030.022я73
Представления: Формат MARC21