| Найдено документов - 1 | Выборка документов | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Книга
Полочный шифр: 32.844.2-06 - К 43
Киреев, В. Ю.
Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование / В. Ю. Киреев. — Долгопрудный : Интеллект, 2016. — 320 с. — Лит.: с. 314. — ISBN 978-5-91559-215-4.
Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование / В. Ю. Киреев. — Долгопрудный : Интеллект, 2016. — 320 с. — Лит.: с. 314. — ISBN 978-5-91559-215-4.
Экземпляры: Всего: 2, из них: аб.-2 в наличии 2
Подробнее
Авторы: Киреев В. Ю.
Отраслевые рубрики: нанотехнологии, наноэлектроника, радиоэлектроника, радиоэлектронная аппаратура (РЭА), техника, технология, электроника
Ключевые слова: интегральные приборы, интегральные схемы, наноимпринт-литография, нанолитография, нанообъекты, наносистемы, наноструктуры, оптическая нанолитография, размерное травление, технические требования, технологическая подготовка производства (ТПП), технологические маршруты, фотолитография, электронная литография
Индексы ББК: 32.844.2-06, 30.600.3
Представления: Формат MARC21