| Найдено документов - 1 | Выборка документов | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Книга
Полочный шифр: 30.624 - Г 15
Галперин, В. А.
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие для вузов / В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов ; под редакцией С. П. Тимошенкова. — Москва : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2015. — 283 с. : ил. — (Нанотехнологии). — Лит.: с. 275. — ISBN 978-5-9963-0032.
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие для вузов / В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов ; под редакцией С. П. Тимошенкова. — Москва : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2015. — 283 с. : ил. — (Нанотехнологии). — Лит.: с. 275. — ISBN 978-5-9963-0032.
Экземпляры: Всего: 10, из них: аб.-9 в наличии 9, ч/з-1 в наличии 1
Подробнее
Авторы: Галперин В. А., Данилкин Е. В., Мочалов А. И.
Отраслевые рубрики: машиностроение, металлообрабатывающие процессы, техника, технология
Ключевые слова: вакуумно-плазменное травление, кремниевые наноструктуры, кремний, методы контроля, плазма, плазменное травление, плазмохимическое травление, полевые кремниевые эмиттеры, полимеры, сухое травление, травление
Индексы ББК: 30.624, 34.675.7
Представления: Формат MARC21