| Найдено документов - 1 | Выборка документов | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Книга
Полочный шифр: 32.844-02-06я73 - О 753
Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Интегральные схемы : учебник для бакалавриата и магистратуры / В. И. Иванов, П. А. Лучников, А. С. Сигов, А. П. Суржиков ; Томский политехнический университет; под редакцией Ю. В. Гуляева. — Москва : Юрайт, 2016. — 460 с. — (Университеты России). — Лит.: с. 405. — ISBN 9785991671552. — Текст : непосредственный + электронный.
Экземпляры: Всего: 2, из них: аб.-2 в наличии 2
Внешний ресурс:
ЭБС ЮРАЙТ. Электронная версия. Доступ по логину и паролю. Доступ до 07.02.2024
Дисциплина из КО: Основы конструирования электронных средств, Технология производства электронных средств
Подробнее
Авторы: Иванов В. И., Лучников П. А., Сигов А. С., Суржиков А. П.
Отраслевые рубрики: радиоэлектроника, радиоэлектронная аппаратура (РЭА), техника, технология, электроника
Ключевые слова: быстрый отжиг, быстрый термический отжиг (БТО), вакуумное выпаривание, герметизация, геттерирование, диодные системы напыления, дифракция, диффузионные процессы, диэлектрические покрытия, изохорный отжиг, имплантация ионов, интегральные схемы, ионно-плазменное напыление, ионно-плазменное травление, ионное легирование, ионное осаждение, ионное перемешивание, ионное распыление, конструирование, кремниевые пластины, кремний, литография, магнетронные системы напыления, металлизация, механическая обработка, монокристаллические материалы, монокристаллический кремний, монтаж кристаллов, нанесение покрытий, направленная кристаллизация, оксидирование, оксидные пленки, оптическая литография, осаждение из газовой фазы, парогазовые смеси, плазменное травление, плазмохимическое осаждение, поликремний, полирование, проекционная электронная литография, радиационно-стимулированная диффузия, рентгеновская литография, рост кристаллов, сборка, стоячие волны, сухое травление, термические напряжения, технология производства, травление, триодные системы напыления, Фика диффузия, Чохральского метод, электронно-лучевая литография, эпитаксиальное выращивание, эпитаксия
Индексы ББК: 32.844-02-06я73, 32.85-02-06я73
Представления: Формат MARC21