Микроэлектроника / учредители: РАН [и др.]; гл. ред. Г. Я. Красников. - Москва: Наука; Наука/Интерпериодика. - Журнал, основан в 1972 году . - Переводная версия: Russian Microelectronics (составной журнал), https://www.springer.com/journal/11180. - Архив статей 2007 - 2021 гг. в Научной электронной библиотеке eLIBRARY: https://www.elibrary.ru/contents.asp?id=42260368, после регистрации. - Архив выпусков с 2019 г. на сайте ИКЦ "Академкнига": http://sciencejournals.ru/journal/mikelek/, после регистрации.Период подписки: 2007 - Периодичность: 6 раз в год Отраслевые рубрики: микроэлектроника; электроника; наноэлектроника; квантовая электроника; техника Аннотация: Журнал посвящён технологическим, физическим и схемотехническим аспектам микро- и наноэлектроники. Особое внимание уделяется новым тенденциям в литографии (оптической, рентгеновской, электронной, ионной), травлении, легировании, осаждении и планаризации на субмикронном и нанометровом уровнях. Значительное место отводится пучковым и плазменным технологиям, в том числе молекулярно-пучковой эпитаксии и сухому травлению, а также методам исследования и контроля поверхностей и многослойных структур. Публикуются статьи о полупроводниковых приборах на базе новых физических явлений, таких как квантовые размерные эффекты и сверхпроводимость. Данное направление исследований охватывает гетероструктуры, нанотранзисторы и полупроводниковые реализации квантовых битов (кубитов). Рассматриваются проблемы анализа и синтеза электронных схем на биполярных и полевых транзисторах, в частности КМОП- и БиКМОП-схем. Журнал предназначен для специалистов научно-исследовательских институтов, высших учебных заведений и производственно-контрольных лабораторий, а также для аспирантов Условия доступа:
Научная электронная библиотека eLIBRARY.RU
Бесплатный доступ с регистрацией. Доступ до .
ИКЦ "Академкнига"
Бесплатный доступ с регистрацией. Доступ до .
| 
Блог Мишки Б.
