Залётин В. М. Вакуумно-термическое получение тонких пленок: учебное пособие / Залётин Михаил Викторович, Васина Анна Николаевна; рецензент В. В. Бойко; редактор Е. В. Григорьева; Министерство образования Московской области; ГОУ ВПО МО "Международный университет природы, общества и человека "Дубна". Факультет естественных и инженерных наук. Кафедра нанотехнологии и новых материалов. - Дубна: Международный университет природы, общества и человека "Дубна", 2014. - 64 с.: ил. - Библиогр. список: с. 62. - ISBN 978-5-89847-411-9.Рекомендовано: Учебно-методический совет ГОУ ВПО МО "Международный университет природы, общества и человека "Дубна" Отраслевые рубрики: машиностроение, металлообрабатывающие процессы Ключевые слова: вакуумметр, вакуумное тонко-пленочное производство, вакуумные системы, импульсная электронная бомбардировка, импульсное лазерное испарение, металлизация, молекулярно-лучевая эпитаксия, напыление, насосы, пленочные технологии, подложки, подложкодержатели, резистивный нагрев, термическое испарение в вакууме, термическое напыление, тонкие пленки, электрический взрыв, электронно-лучевое испарение (ЭЛИ) Условия доступа:
Библиотечная система Университета "Дубна"
Доступ по номеру читательского билета и фамилии читателя. Доступ до .
| Сигла хранения | Всего экз. | В наличии | Заказано | | абонемент | 2 | 2 | 0 | | чит. зал | 1 | 1 | 0 |
| 
Блог Мишки Б.
