Киреев В. Ю. Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование / Киреев Валерий Юрьевич. - Долгопрудный: Интеллект, 2016. - 320 с. - Лит.: с. 314. - ISBN 978-5-91559-215-4.Отраслевые рубрики: нанотехнологии, наноэлектроника, радиоэлектроника, радиоэлектронная аппаратура (РЭА), техника, технология, электроника Ключевые слова: интегральные приборы, интегральные схемы, наноимпринт-литография, нанолитография, нанообъекты, наносистемы, наноструктуры, оптическая нанолитография, размерное травление, технические требования, технологическая подготовка производства (ТПП), технологические маршруты, фотолитография, электронная литография
| Сигла хранения | Всего экз. | В наличии | Заказано | | абонемент | 2 | 2 | 0 |
| 
Блог Мишки Б.
