Представление документа в формате MARC21

Поле Инд. ПП Название Значение
Тип записи a
Библиографический уровень b
001 Контрольный номер DU/613061621
005 Дата корректировки 20200601191448.3
008 Кодируемые данные 20190605
040 b Код языка каталог. rus
e Правила каталог. PSBO
041 0_ a Код языка текста rus
084 a Индекс другой классификации/Индекс ББК 30.600.3
100 1_ a Автор Воропай А. Н.
q Полное имя Воропай Александр Николаевич
100 1_ a Автор Лянгузов Ю. М.
q Полное имя Лянгузов Юрий Максимович
245 10 a Заглавие Получение пленок моносульфида самария комбинированным методом
504 a Библиография Библиогр.: с. 7
520 0_ a Аннотация Рассматриваются результаты эксперимента по получению тонких пленок моносульфида самария методами вакуумного термического и термовзрывного испарения, объединенными в одном технологическом процессе (комбинированный метод напыления). В работе была проанализирвоана зависимость сопротивления пленок моносульфида самария от условий их формирования. На основании полученных данных оценено, что толщина лимитирующего слоя 30 - 60 нм. Также определено, что использование комбинированного метода напыления пленок моносульфида самария приводит к увеличению коэффициента тензочувствительности на 20 - 3- %
650 14 a Основная рубрика нанотехнологии
653 1_ a Ключевые слова моносульфид самария
a Ключевые слова полупроводниковые материалы
a Ключевые слова редкоземельные элементы
a Ключевые слова термическое испарение
a Ключевые слова тонкие пленки
773 08 t Заглавие источника Вестник Международного университета природы, общества и человека "Дубна" : Серия "Естественные и инженерные науки"
d Дата издания источника 2018
g Прочая информация № 4 (41). - С. 3 - 7 : рис., схем.
w Контрольный № источника DU/606500946
901 t Тип документа b