Библиотечная система
Библиотечная система. Международный университет природы, общества и человека "Дубна"
  Главная     Поиск       Новости     Консультация     Часы работы     О нас     О сайте     Блог Мишки Б.     Напишите нам  
Авторизация
№ карты:
Фамилия:
   Помощь
Тестовый доступ

Электронный каталог
Расширенный поиск
Поиск по отраслевой классификации
Поиск по словарям
NEW!Новые поступления
Электронные версии
Журналы и газеты
 Подписка 2024
 Каталог периодики
 Заказ журналов
Рекомендуемая литература
Электронные издания университета

Библиотека Чечельницкого А.М.
Библиотека Пономарёва В.С.
Библиотека Шатуновского И.Б.
Библиотека Сисакяна А.Н.
Редкий фонд
Выставки
Издания Университета
Год:
Электронные издания
В каталогах
130030 документов в электронном каталоге
19609 оцифрованных документов
323 оцифрованных оглавлений журналов
 
Besucherzahler mail order brides
счетчик посещений

Библиографическое описание

30.624
Б 492
Книга

Берлин Е. В. Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии / Берлин Евгений Владимирович, Сейдман Лев Александрович. - Москва: Техносфера, 2010. - 528 с.: ил. - (Мир материалов и технологий). - Лит. - ISBN 978-5-94836-222-9.

Отраслевые рубрики: техника, технология

Ключевые слова: "ЭСТО-Вакуум", вакуумные напылительные установки, ионное травление, ионно-плазменные процессы, катод магнетрона, моделирование, плазма, плазменная технология, плазмохимическое травление, пленки, получение пленок, пробой, реактивное магнетронное распыление, реактивный разряд, тонкие пленки, тонокопленочная технология, химические соединения

Сигла храненияВсего экз.В наличииЗаказано
абонемент980
чит. зал110


отобрать


Назад

Библиотечная система
Мишка Библиотечный Справочник читателя
Информация для студентов-заочников