Отраслевые рубрики: технология, физика, физическая химия, электроника

Ключевые слова: адсорбция, Аррениуса закон, Аррениуса уравнение, вакуумное обезгаживание материалов, газотранспортные химические реакции, газофазная эпитаксия (ГФЭ), гетерогенные процессы, Гиббса-Томсона уравнение, диаграмма плавкости, диффузионные процессы, жидкие растворы, жидкофазная эпитаксия, закон действующих масс, закон сохранения энергии, идеальный газ, кинетика химических реакций, кинетические процессы, кристаллы, Ле Шателье принцип, межфазные взаимодействия, однокомпонентные системы, открытые системы, поверхностное давление, поверхностные явления, полупроводники, правило фаз Гиббса, примеси, растворы, растворы электролитов, твердые растворы, термическое окисление кремния, термоактивационные процессы, термодинамика, термодинамические процессы, термодинамические функции, технологические процессы, точечные дефекты, фазовое равновесие, фазовые превращения, Фика законы, химическая термодинамика, химический транспорт веществ, химическое равновесие, химическое травление, электрохимические процессы, энтропия