32.843.322.4 К 782 Красников Г. Я. Система кремний - диоксид кремния субмикронных СБИС / Красников Геннадий Яковлевич, Зайцев Николай Александрович. - Москва: Техносфера, 2003. - 384 с. - ISBN 9785948360089. [подробнее]
Александров С. Е. Технология полупроводниковых материалов: учебное пособие / Александров Сергей Евгеньевич, Греков Федор Федорович. - 2-е изд., испр. - Санкт-Петербург: Лань, 2022. - 308 с. - ISBN 978-5-8114-1290-7. [подробнее]
32.853я73 М 25 Сенсорная электроника, датчики: твердотельные сенсорные структуры на кремнии: учебное пособие для вузов / Домашевская Эвелина Павловна, Тутов Евгений Анатольевич, Рябцев Станислав Викторович, Шапошник Алексей Владимирович; под редакцией А. М. Ховива. - Москва: Юрайт, 2020. - 203 с.: ил. - (Высшее образование). - ISBN 9785534127928. [подробнее]
22.379.331.7 Ф 503 Физика сегнетоэлектриков. Современный взгляд / под редакцией К. М. Рабе, Ч. Г. Ана, Ж.-М. Трискона; перевод с английского Б. А. Струкова, А. И. Лебедева. - Москва: Лаборатория знаний, 2018. - 440 с.: ил. - ISBN 978-5-9963-0302-1. [подробнее]
32.843.3-06я723 Н 371 Нашельский А. Я. Технология полупроводниковых материалов: учебное пособие для техникумов цветной металлургии / Нашельский Александр Яковлевич. - Москва: Металлургия, 1972. - 432 с. [подробнее]
32.843.3-06я43 Л 385 Легирование полупроводников ионным внедрением: сборник статей / перевод под редакцией В. С. Вавилова, В. М. Гусева. - Москва: Мир, 1971. - 532 с. [подробнее]
32.843.31я431 М 775 Монокристаллические пленки / перевод с английского С. Н. Горина, А. К. Милай, А. Ф. Орлов; под редакцией Э. Г. Пинскера. - Москва: Мир, 1966. - 400 с. - Указ. авт.: с. 392. - Предм. указ.: с. 394. [подробнее]
Шульгин Б. В. Новые детекторные материалы и устройства: учебное пособие / Шульгин Борис Владимирович, Черепанов Александр Николаевич, Шульгин Дмитрий Борисович. - Москва: Физматлит, 2009. - 360 с. [подробнее]
Филимонова Н. И. Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур: сканирующая зондовая микроскопия: учебное пособие. Ч.II / Филимонова Нина Ивановна, Величко А. А.; Министерство образования и науки РФ; Новосибирский государственный технический университет (НГТУ). - Новосибирск: НГТУ, 2014. - 227 с. - ISBN 978-5-7782-2534-3. [подробнее]