Полочный шифр: Сводное описание журнала

Микроэлектроника / учредители: Российская академия наук (РАН). Физико-технологический ин-тут РАН; гл. ред. Г. Я. Красников. — 2010 - . — Москва : Наука. — Журнал, основан в 1972 году . — Переводная версия: Russian Microelectronics (составной журнал), https://www.springer.com/journal/11180. — ISSN 0544-1269.

Даты публикации: 2010 -

Аннотация: Журнал посвящён технологическим, физическим и схемотехническим аспектам микро- и наноэлектроники. Особое внимание уделяется новым тенденциям в литографии (оптической, рентгеновской, электронной, ионной), травлении, легировании, осаждении и планаризации на субмикронном и нанометровом уровнях. Значительное место отводится пучковым и плазменным технологиям, в том числе молекулярно-пучковой эпитаксии и сухому травлению, а также методам исследования и контроля поверхностей и многослойных структур. Публикуются статьи о полупроводниковых приборах на базе новых физических явлений, таких как квантовые размерные эффекты и сверхпроводимость. Данное направление исследований охватывает гетероструктуры, нанотранзисторы и полупроводниковые реализации квантовых битов (кубитов). Рассматриваются проблемы анализа и синтеза электронных схем на биполярных и полевых транзисторах, в частности КМОП- и БиКМОП-схем. Журнал предназначен для специалистов научно-исследовательских институтов, высших учебных заведений и производственно-контрольных лабораторий, а также для аспирантов

URL биб.описания: https://lib.uni-dubna.ru/MegaPRO/UserEntry?Action=FindDocs&ids=138137&idb=ec_110