| Найдено документов - 1 | Выборка документов | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Документ
Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии : учебник для бакалавриата и магистратуры / В. И. Иванов, П. А. Лучников, А. С. Сигов, А. П. Суржиков ; Томский политехнический университет; под редакцией А. С. Сигова. — Москва : Юрайт, 2020. — 270 с. — (Высшее образование). — Лит.: с. 236. — ISBN 978-5-9916-7153-8. — Текст : электронный.
Внешний ресурс:
ЭБС ЮРАЙТ. Электронная версия. Доступ по логину и паролю. Доступ до 07.02.2024
Дисциплина из КО: Научно-исследовательская работа, Технологическая (проектно-технологическая) практика, Учебная практика (ознакомительная практика)
Подробнее
Авторы: Иванов В. И., Лучников П. А., Сигов А. С., Суржиков А. П.
Отраслевые рубрики: радиоэлектроника, радиоэлектронная аппаратура (РЭА), техника, технология, электроника
Ключевые слова: быстрый отжиг, вторичная ионно-ионная эмиссия, геттерирование, дефектообразование, диодные системы напыления, диффузионная сварка, изохорный отжиг, имплантация ионов, ионно-лучевое травление, ионно-лучевые методы, ионно-плазменное напыление, ионно-плазменное травление, ионно-плазменные технологии, ионное легирование, ионное осаждение, ионное перемешивание, ионное распыление, ионы, источники ионов, конструирование, лазерно-имплантационный метод, легирование, магнетронные системы напыления, напыление, обратное рассеяние, плазма, плазменное травление, подложки, полимеризация в плазме, полимерные пленки, пробеги ионов, радиационные эффекты, радикальное травление, термический отжиг, технология производства, тонкие пленки, травление, триодные системы напыления
Индексы ББК: 32.844-02-06я73, 32.85-02-06я73
Переиздания: DU/525357354
Представления: Формат MARC21