Аннотация: Рассматриваются результаты эксперимента по получению тонких пленок моносульфида самария методами вакуумного термического и термовзрывного испарения, объединенными в одном технологическом процессе (комбинированный метод напыления). В работе была проанализирвоана зависимость сопротивления пленок моносульфида самария от условий их формирования. На основании полученных данных оценено, что толщина лимитирующего слоя 30 - 60 нм. Также определено, что использование комбинированного метода напыления пленок моносульфида самария приводит к увеличению коэффициента тензочувствительности на 20 - 3- %