Задачи моделирования и оптимизации некоторых технологических процессов в микроэлектронике. Часть II / Муравей Леонид Андреевич, Петров Виктор Михайлович, Копылова Т. В., Копылова Татьяна Валерьевна // Вестник Международного университета природы, общества и человека "Дубна". - 2008. - № 1 (18). - С. 3 - 8 : расчет. - Лит. в конце статьи. - Начало в № 2 (17), 2007. Продолжение в № 2 (19), 2008.Отраслевые рубрики: математика, математическая кибернетика Ключевые слова: интегральные схемы, математическое моделирование, микроэлектроника, принцип максимума Понтрягина Аннотация: "Рассмотрены вопросы моделирования и оптимизации некоторых технологических процессов производства интегральных схем. Для каждого из этих процессов установлен принцип максимума Л. С. Понтрягина, позволивший разработать эффективный численный метод расчета оптимального управляющего режима."
| 
Блог Мишки Б.
