Рощин В. М. Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники: учебное пособие. Ч.2 / Рощин Владимир Михайлович, Силибин Максим Викторович. - Москва: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. - 180 с.: ил. - Лит.: с. 180. - ISBN 978-5-94774-910-6.Гриф: УМО вузов РФ по образованию в области радиотехники, электроники, биомедицинской техники и автоматизации Отраслевые рубрики: материаловедение, нанотехнологии, радиотехника, электроника Ключевые слова: алмазные пленки, алмазоподобные пленки, алюминий, бор, вода высокой чистоты, вольфрам, галлий, диспергированные некристаллические материалы, диэлектрические материалы, индий, керамические диэлектрики, легирующие элементы, ленточные некристаллические материалы, материалы, медь, металлоорганические соединения, микроэлектроника, молибден, мышьяк, наноматериалы, нанотрубки, наноэлектроника, ниобий, оптоэлектроника, органические диэлектрики, очистка газов, поликристаллические алмазы, стеклокерамические материалы, стеклообразные диэлектрические материалы, тантал (химический элемент), технологические процессы, технология металлов, титан, углеродные материалы, фосфор, фуллерены
Сигла хранения | Всего экз. | В наличии | Заказано | абонемент | 1 | 1 | 0 | чит. зал | 1 | 1 | 0 |
|