Берлин Е. В. Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии / Берлин Евгений Владимирович, Сейдман Лев Александрович. - Москва: Техносфера, 2010. - 528 с.: ил. - (Мир материалов и технологий). - Лит. - ISBN 978-5-94836-222-9.Отраслевые рубрики: техника, технология Ключевые слова: "ЭСТО-Вакуум", вакуумные напылительные установки, ионное травление, ионно-плазменные процессы, катод магнетрона, моделирование, плазма, плазменная технология, плазмохимическое травление, пленки, получение пленок, пробой, реактивное магнетронное распыление, реактивный разряд, тонкие пленки, тонокопленочная технология, химические соединения
| Сигла хранения | Всего экз. | В наличии | Заказано | | абонемент | 9 | 9 | 0 | | чит. зал | 1 | 1 | 0 |
| 
Блог Мишки Б.
