Отраслевые рубрики: техника, технология

Ключевые слова: "ЭСТО-Вакуум", вакуумные напылительные установки, ионное травление, ионно-плазменные процессы, катод магнетрона, моделирование, плазма, плазменная технология, плазмохимическое травление, пленки, получение пленок, пробой, реактивное магнетронное распыление, реактивный разряд, тонкие пленки, тонокопленочная технология, химические соединения

Сигла хранения	Всего экз.	В наличии	Заказано
абонемент	9	8	0
чит. зал	1	1	0