Библиотечная система. Международный университет природы, общества и человека "Дубна"
  Главная     Поиск       Новости     Консультация     Часы работы     О нас     О сайте     Блог Мишки Б.     Напишите нам  
Авторизация
№ карты:
Фамилия:
   Помощь
Помощь
Общая схема поиска литературы

Руководство по поиску в электронном каталоге

Правила использования информационных ресурсов
Электронный каталог
Расширенный поиск
Поиск по отраслевой классификации
Поиск по словарям
NEW!Новые поступления
Электронные версии
Журналы и газеты
 Подписка 2019
 Каталог периодики
 Заказ журналов
Рекомендуемая литература
Издания университета

Библиотека Чечельницкого А.М.
Библиотека Пономарёва В.С.
Редкий фонд
Выставки
Ресурсы интернета

Besucherzahler mail order brides
счетчик посещений

Библиографическое описание

30.624
Б 492
Книга

Берлин Е.В. Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии / Берлин Евгений Владимирович, Сейдман Лев Александрович. - М.: Техносфера, 2010. - 528с.: ил. - (Мир материалов и технологий). - Лит. - ISBN 978-5-94836-222-9.

Отраслевые рубрики: техника, технология

Ключевые слова: "ЭСТО-Вакуум", вакуумные напылительные установки, ионное травление, ионно-плазменные процессы, катод магнетрона, моделирование, плазма, плазменная технология, плазмохимическое травление, пленки, получение пленок, пробой, реактивное магнетронное распыление, реактивный разряд, тонкие пленки, тонокопленочная технология, химические соединения

Сигла храненияВсего экз.В наличииЗаказано
абонемент990
ест.-науч. чит. зал110


отобрать


Назад