Период подписки: 2010 -

Периодичность: 6 раз в год

Отраслевые рубрики: микроэлектроника; электроника; наноэлектроника; квантовая электроника; техника

Аннотация: Журнал посвящён технологическим, физическим и схемотехническим аспектам микро- и наноэлектроники. Особое внимание уделяется новым тенденциям в литографии (оптической, рентгеновской, электронной, ионной), травлении, легировании, осаждении и планаризации на субмикронном и нанометровом уровнях. Значительное место отводится пучковым и плазменным технологиям, в том числе молекулярно-пучковой эпитаксии и сухому травлению, а также методам исследования и контроля поверхностей и многослойных структур. Публикуются статьи о полупроводниковых приборах на базе новых физических явлений, таких как квантовые размерные эффекты и сверхпроводимость. Данное направление исследований охватывает гетероструктуры, нанотранзисторы и полупроводниковые реализации квантовых битов (кубитов). Рассматриваются проблемы анализа и синтеза электронных схем на биполярных и полевых транзисторах, в частности КМОП- и БиКМОП-схем. Журнал предназначен для специалистов научно-исследовательских институтов, высших учебных заведений и производственно-контрольных лабораторий, а также для аспирантов

Условия доступа:

Научная электронная библиотека eLIBRARY.RU
Доступ после регистрации на компьютерах университета. Доступ до .

ИКЦ "Академкнига"
Доступ после регистрации. Доступ до .

Российский центр научной информации (РЦНИ)
Доступ по логину и паролю с компьютеров университета. Доступ до .