Осаждение из газовой фазы / Блочер Дж., мл., Лунэм А., Детторр Дж. и др.; под редакцией К. Пауэлла, К. Криер, В. Руньян [и др.]; сокращенный перевод с английского М. И. Юрченко. - Москва: Атомиздат, 1970. - 472 с.: ил.Отраслевые рубрики: химическая технология Ключевые слова: защитные покрытия, испарение, конденсация, материаловедение, материалы, материалы радиоэлектронных средств, металлы, методы получения, неметаллические материалы, осадки, осаждение, осаждение из газовой фазы, осаждение материалов, процессы переноса, физическое осаждение из газовой фазы (ФОГФ), химическое осаждение из газовой фазы (ХОГФ), эпитаксиальные пленки, ядерное топливо
Сигла хранения | Всего экз. | В наличии | Заказано | абонемент | 1 | 1 | 0 |
|