Лич Р. Инженерные основы измерений нанометровой точности / Лич Ричард К.; перевод с английского А. В. Заболоцкого. - Долгопрудный: Интеллект , 2012. - 400 с.: ил. - Прил.: с. 394. - ISBN 978-5-91559-119-5.Отраслевые рубрики: метрология, техника Ключевые слова: атомно-силовая микроскопия, гелий-неоновый лазер, единицы измерения, емкостные средства измерения, Зеемана эффект, измерение, измерение массы, измерение параметров поверхности, измерение перемещений, измерение сил, инженерная нанометрология, интерферометрия, интерферометрия концевых мер, интерферометрия перемещений, интерферометры, ионная микроскопия, калибровка средств измерений, калибровка частоты лазера, координатная метрология, координатно-измерительные машины (КИМ), лазеры, методы измерения, нанометровая точность, нанометрология, неопределенность измерения, одномодовые лазеры, оптические профилометры, пневматические средства измерения, поверхности, погрешности измерений, прецизионные измерения, прецизионные соедства измерения, прослеживаемость длины, прослеживаемость измерения, профилометры, профиль поверхности, рельеф поверхности, сканирующая зондовая микроскопия, сканирующая туннельная микроскопия, точность, трехмерная текстура поверхности, фрактальные методы, электронная микроскопия
Сигла хранения | Всего экз. | В наличии | Заказано | абонемент | 1 | 1 | 0 | чит. зал | 1 | 1 | 0 |
|