Филимонова Н. И. Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур: сканирующая зондовая микроскопия: учебное пособие. Ч.1 / Филимонова Нина Ивановна, Кольцов Борис Борисович; Министерство образования и науки РФ; Новосибирский государственный технический университет (НГТУ); рецензенты А. А. Величко, Ю. Г. Пейсахович. - Новосибирск: НГТУ, 2013. - 134 с. - Библиогр. список: с. 133. - ISBN 978-5-7782-2158-1.Рекомендовано: Редакционно-издательский совет Новосибирского государственного технического университета (НГТУ) Отраслевые рубрики: материаловедение, радиотехнические материалы, техника, физика, физика твердого тела, химия Ключевые слова: атомно-силовая микроскопия, микроэлектроника, наноэлектроника, сканирующая зондовая микроскопия, сканирующая туннельная микроскопия, сканирующий оптический микроскоп ближнего поля (СОМБП), структурный анализ Условия доступа:
Университетская библиотека онлайн
Доступ по логину и паролю. Доступ до 08.06.2026.
| 
Блог Мишки Б.
