Библиотечная система. Международный университет природы, общества и человека "Дубна"
  Главная     Поиск       Новости     Консультация     Часы работы     О нас     О сайте     Блог Мишки Б.     Напишите нам  
Авторизация
№ карты:
Фамилия:
   Помощь
Помощь
Общая схема поиска литературы

Руководство по поиску в электронном каталоге

Правила использования информационных ресурсов
Электронный каталог
Расширенный поиск
Поиск по отраслевой классификации
Поиск по словарям
NEW!Новые поступления
Электронные версии
Журналы и газеты
 Подписка 2021
 Каталог периодики
 Заказ журналов
Рекомендуемая литература
Издания университета

Библиотека Чечельницкого А.М.
Библиотека Пономарёва В.С.
Редкий фонд
Выставки
Ресурсы интернета

Besucherzahler mail order brides
счетчик посещений

Библиографическое описание

32.844.2-06
К 43
Книга

Киреев В. Ю. Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование / Киреев Валерий Юрьевич. - Долгопрудный: Интеллект, 2016. - 320 с. - Лит.:с.314. - ISBN 978-5-91559-215-4.

Отраслевые рубрики: нанотехнологии, наноэлектроника, радиоэлектроника, радиоэлектронная аппаратура (РЭА), техника, технология, электроника

Ключевые слова: интегральные приборы, интегральные схемы, наноимпринт-литография, нанолитография, нанообъекты, наносистемы, наноструктуры, оптическая нанолитография, размерное травление, технические требования, технологическая подготовка производства (ТПП), технологические маршруты, фотолитография, электронная литография

Сигла храненияВсего экз.В наличииЗаказано
абонемент220


отобрать

Читать
Обложка


Назад