Филимонова Н. И. Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур: сканирующая зондовая микроскопия: учебное пособие. Ч.II / Филимонова Нина Ивановна, Величко А. А.; Министерство образования и науки РФ; Новосибирский государственный технический университет (НГТУ). - Новосибирск: НГТУ, 2014. - 227 с. - ISBN 978-5-7782-2534-3.Рекомендовано: Редакционно-издательский совет Новосибирского государственного технического университета (НГТУ) Отраслевые рубрики: материаловедение, радиотехнические материалы, техника, физика, физика твердого тела, химия Ключевые слова: анализаторы задерживающего поля (АЗП), вторичная ионная масса-спектрометрия (ВИМС), ионная спектрометрия, микроэлектронные материалы, наноэлектронные материалы, полупроводники, просвечивающая электронная микроскопия (ПЭМ), рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия (РФС-XPS), сканирующая электронная микроскопия, спектроскопия характеристических потерь энергии (СХПЭЭ), термоэлектродвижущая сила, ультрафиолетовая фотоэлектронная спектроскопия, фотоэлектронная спектроскопия, Холла эффект, электронная микроскопия, электронная оже-спектроскопия, электронная спектроскопия, электрофизические свойства Условия доступа:
ЭБС ZNANIUM Доступ по № абонента, логину и паролю. Доступ до 31.12.2024.
|