Орликов Л. Н. Технология материалов и изделий электронной техники: учебное пособие. Ч.2 / Орликов Леонид Николаевич; Томский Государственный Университет Систем Управления и Радиоэлектроники (ТУСУР). Кафедра электронных приборов. - Томск: Томский Государственный Университет Систем Управления и Радиоэлектроники (ТУСУР), 2012. - 101 с.Отраслевые рубрики: радиоэлектроника, техника, технология, электроника Ключевые слова: автоматизация проектирования, вакуумная электроника, газопоглотители, микроэлектроника, плазменная электроника, планарная технология, планарно-эпитаксиальная технология, радиационная стойкость, твердотельная электроника, технологические процессы, технологическое оборудование, технология производства, электровакуумные приборы, электронно-лучевые трубки Условия доступа:
Университетская библиотека онлайн Доступ по логину и паролю. Доступ до 08.06.2026.
|