Отраслевые рубрики: радиоэлектроника, радиоэлектронная аппаратура (РЭА), техника, технология, электроника

Ключевые слова: взаимодействие излучения с веществом, вторичная эмиссия, вторично-ионная масс-спектрометрия, вторично-эмиссионные катоды, высокоинтенсивные ионизирующие излучения (ВИИ), высокоомные материалы, дифракция электронов, диффузионная сварка, ионизационные потери энергии, конструирование, микролитография, необратимые радиационные изменения, обратимые радиационные изменения, объемный заряд, оксидные катоды, полимерные материалы, полиэтилен, пробег, проекционная электронная литография, радиационная модификация материалов, радиационная электропроводность, радиационно-модифицированный полиэтилен, радиационно-термические процессы, радиационные потери энергии, радиационные технологии, растровая электронная микроскопия (РЭМ), рентгеновская дефектоскопия, рентгеновская литография, рентгеновская микроскопия, рентгеноструктурный анализ (РСА), технологические процессы, технологический контроль, технологическое оборудование, технология производства, фотоэлектронная спектроскопия, электреты, электровакуумные приборы, электронная литография, электронная оже-спектроскопия, электронная спектроскопия, электронно-лучевая литография, электронно-лучевая обработка, электронно-лучевые методы, электронно-лучевые устройства, электронные радиационные технологии, электронные резисты, электронный луч

Условия доступа:

ЭБС ЮРАЙТ
Доступ по логину и паролю. Доступ до 07.02.2024.