Березин А. С. Технология и конструирование интегральных микросхем: учебное пособие для втузов / Березин Андрей Сергеевич, Мочалкина Ольга Романовна; под редакцией И. П. Степаненко. - Москва: Радио и связь, 1983. - 232 с.: ил. - Прил.: с. 223. - Список лит.: с. 227. - Предм. указ.: с. 228.Гриф: Министерство высшего образования СССР Отраслевые рубрики: микроэлектроника, радиотехника, радиоэлектроника, радиоэлектронная аппаратура (РЭА), электроника Ключевые слова: p-n-переход, автоэпитаксия кремния, биполярные транзисторы, большие интегральные схемы (БИС), гибридные интегральные микросхемы, диоды, интегральные микросхемы, конденсаторы, кремниевые подложки, легирование кремния, МДП конденсаторы, МДП транзисторы, пассивные элементы, планарная полупроводниковая технология, полупроводниковые интегральные схемы, сверхбольшие интегральные схемы (СБИС), тонкие пленки, транзисторы, физические процессы, фотолитография, эпитаксиальное выращивание
Сигла хранения | Всего экз. | В наличии | Заказано | абонемент | 1 | 1 | 0 |
|