Дорфман В. Ф. Газофазная микрометаллургия полупроводников / Дорфман В. Ф. - Москва: Металлургия, 1974. - 192 с. - Список лит.: с. 179.Отраслевые рубрики: физика, физика полупроводников, физика твердого тела Ключевые слова: газофазная микрометаллургия полупроводников (ГМП), кристаллы, рост кристаллов из газовой фазы, эпитаксиальные слои
Сигла хранения | Всего экз. | В наличии | Заказано | абонемент | 1 | 1 | 0 |
|