Легирование полупроводников ионным внедрением: сборник статей / перевод под редакцией В. С. Вавилова, В. М. Гусева. - Москва: Мир, 1971. - 532 с.Отраслевые рубрики: материаловедение, радиотехнические материалы, техника, технология Ключевые слова: ионное легирование, ионное облучение, легирование кремния, монокристаллы, облучаемый кремний, облучение, полупроводниковые структуры, примесные атомы, радиационные эффекты, туннельный эффект
Сигла хранения | Всего экз. | В наличии | Заказано | абонемент | 1 | 1 | 0 |
|