Фундаментальные и прикладные аспекты распыления твердых тел: сборник статей / составитель Е. С. Машкова. - Москва: Мир, 1989. - 349 с. - Предм. указ.: с. 346. - ISBN 5-03-000280-4.Отраслевые рубрики: машиностроение, металлообрабатывающие процессы, техника, технология, физика, физика твердого тела Ключевые слова: ионная бомбардировка, ионные пучки, лазерное излучение, пленки, поверхности твердых тел, распыление, реактивное травление, рост поверхности, термоядерная установка, травление, эрозия поверхности Форматир. содержание: Современные тенденции в исследовании распыления твердых тел/ Машкова Е. С. Механизмы и теория физического распыления/ Зигмунд П. Машинное моделирование распыления/ Бирзак Й. П. Теория эрозии и роста поверхности/ Картер Дж. Экспериментальное изучение эволюции поверхности под действием ионной бомбардировки/ Виттон Дж. Л. Распределение распыленных атомов по скоростям/ Томпсон М. В. Исследование явлений распыления атомов по флюоресценции, возбуждаемой лазерным излучением/ Бай Х. Л. Распыление в термоядерных установках/ Бериш Р./ Рот И./ Штауденмайер Г./ Фербек Х. Влияние ионной бомбардировки на рост пленок и эрозию поверхности по результатам экспериментов с плазмой и ионными пучками/ Кей Э. Реактивное травление в микроэлектронике, термоядерных и космических исследованиях/ Аусиелло О./ Ибботсон Д. И./ Флэм Д. Л.
Сигла хранения | Всего экз. | В наличии | Заказано | абонемент | 1 | 1 | 0 |
|