Воропай А. Н. Получение пленок моносульфида самария комбинированным методом / Воропай Александр Николаевич, Лянгузов Юрий Максимович // Вестник Международного университета природы, общества и человека "Дубна" : Серия "Естественные и инженерные науки". - 2018. - № 4 (41). - С. 3 - 7 : рис., схем. - Библиогр.: с. 7.Отраслевые рубрики: нанотехнологии Ключевые слова: моносульфид самария, полупроводниковые материалы, редкоземельные элементы, термическое испарение, тонкие пленки Аннотация: Рассматриваются результаты эксперимента по получению тонких пленок моносульфида самария методами вакуумного термического и термовзрывного испарения, объединенными в одном технологическом процессе (комбинированный метод напыления). В работе была проанализирвоана зависимость сопротивления пленок моносульфида самария от условий их формирования. На основании полученных данных оценено, что толщина лимитирующего слоя 30 - 60 нм. Также определено, что использование комбинированного метода напыления пленок моносульфида самария приводит к увеличению коэффициента тензочувствительности на 20 - 3- %
| 
Блог Мишки Б.
