Сасов А. М. Разработка пленочных материалов на основе тугоплавких соединений для изделий, функционирующих в экстремальных условиях / Сасов Анатолий Михайлович // Вестник Международного университета природы, общества и человека "Дубна" : Серия "Естественные и инженерные науки". - 2018. - № 4 (41). - С. 50 - 57 : диагр. - Библиогр.: с. 56 - 57.Отраслевые рубрики: материаловедение, наноматериалы, химия Ключевые слова: микроэлектроника, пленочные материалы, резистивные материалы, силициды, твердые растворы, тонкопленочные резисторы, физическая химия, электрофизика, электрофизические свойства Аннотация: Рассмотрены причины низкой стабильности свойств тонкопленочных резисторов, полученных методом испарения гетерогенных материалов. Одним из критериев стабильности тонких резистивных пленок можно считать гомогенность исходного материала. Выявлены закономерности изменения электрофизических свойств пленок в зависимости от эффективной концентрации носителей для твердых растворов типа Cr???Ta?Si?. Термодинамический анализ и результаты расчетов межатомного взаимодействия методом парных потенциалов позволяют прогнозировать особенности технологических способов получения тонких пленок на основе системы CrSi??TaSi?
| 
Блог Мишки Б.
