Фадейкина И. Н. Получение тонкопленочных полупроводниковых слоев оксидов металлов золь-гель методом / Фадейкина Ирина Николаевна, Гломбоцкая Наталья Валерьевна, Широкова Анастасия Дмитриевна // Вестник Международного университета природы, общества и человека "Дубна" : Серия "Естественные и инженерные науки". - 2020. - № 3 (48). - С. 40 - 45 : рис., граф., схем. - Библиогр.: с. 45.Отраслевые рубрики: техника; технология; нанотехнологии Ключевые слова: диоксид олова, золь-гель технология, полупроводниковые материалы, проводящее стекло, синтез оксидных пленок, тонкопленочные структуры Аннотация: Представлен обзор основных приемов и подходов при получении полупроводниковых оксидных структур на стеклянной подложке золь-гель методом. Обобщены и описаны основные стадии получения прекурсоров, приготовления и нанесения золя, получения проводникового покрытия, применимые для такого рода материалов. Экспериментально получены и охарактеризованы образцы на основе диоксида олова
|