Берлин Е. В. . Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением / Берлин Е. В. , Сейдман Л. А. - Москва: Техносфера, 2014. - 256 с. - (Мир материалов и технологий). - ISBN 978-5-94836-369-1.Отраслевые рубрики: металлообрабатывающие процессы, техника, химия Ключевые слова: магнетронное распыление, неорганические пленки, покрытия, реактивное магнетронное распыление, тонкие пленки, электрохимические процессы Условия доступа:
Университетская библиотека онлайн Доступ по логину и паролю. Доступ до 08.06.2025.
|