Светличный А. М. Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие / Светличный Александр Михайлович, Житяев Игорь Леонидович. - Таганрог: ЮФУ, 2017. - 104 с. - ISBN 978-5-9275-2395-5.Отраслевые рубрики: нанотехнологии, техника, технология, химия Ключевые слова: взаимодействие излучения с веществом, диэлектрические пленки, лазерная рекристаллизация, лазерное легирование, лазерной отжиг, осаждение тонких пленок, полупроводники, фотонное излучение, фотонно-стимулированные технологические процессы, эпитаксиальные пленки, эпитаксиальные слои Условия доступа:
ЭБС ZNANIUM Доступ по логину и паролю. Доступ до 31.12.2024.
|