Александров С. Е. Технология полупроводниковых материалов: учебное пособие / Александров Сергей Евгеньевич, Греков Федор Федорович. - 2-е изд., испр. - Санкт-Петербург: Лань, 2022. - 308 с. - ISBN 978-5-8114-1290-7.Отраслевые рубрики: радиотехнические материалы, техника, технология неорганических веществ, химическая технология, электротехнические материалы Ключевые слова: алюминий, выращивание монокристаллов, галлий, германий, глубокая очистка, индий, кремний, летучие компоненты, монокристаллы, мышьяк, полупроводниковые материалы, полупроводниковые соединения, синтез полупроводниковых соединений, сплавы, фосфор Условия доступа:
ЭБС "Лань" Доступ по логину и паролю. Доступ до 08.02.2024.
|