Красников Г. Я. Система кремний - диоксид кремния субмикронных СБИС / Красников Геннадий Яковлевич, Зайцев Николай Александрович. - Москва: Техносфера, 2003. - 384 с. - ISBN 9785948360089.Отраслевые рубрики: радиотехника, радиотехнические материалы, радиоэлектроника, техника Ключевые слова: геттерирование, кремниевые пластины, кремниевые чипы, кремний, кремний - диоксид кремния система, математические модели, МДП-системы, МОП-структуры, сверхбольшие интегральные схемы (СБИС), технология осаждения полевого электрода, физико-химический анализ, электронно-ионные процессы, электрофизические свойства, электрохимические свойства
Сигла хранения | Всего экз. | В наличии | Заказано | абонемент | 1 | 1 | 0 |
|