Козловский В. В. Модифицирование полупроводников пучками протонов / Козловский Виталий Васильевич; ответственный редактор Р. Ш. Малкович. - Санкт-Петербург: Наука. Санкт-Петербургское отделение, 2003. - 272 с.: ил. - ISBN 5-02-024988-2.Отраслевые рубрики: физика, физика полупроводников, физика твердого тела Ключевые слова: заряженные частицы, ионно-стимулированные процессы, легирование, модифицирование, полупроводники, полупроводниковые приборы, радиационные дефекты, трансмутационное легирование
| Сигла хранения | Всего экз. | В наличии | Заказано | | абонемент | 1 | 1 | 0 | | чит. зал | 1 | 1 | 0 |
| 
Блог Мишки Б.
