Киреев В. Ю. Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы / Киреев Валерий Юрьевич, Столяров Александр Александрович. - Москва: Техносфера, 2006. - 192 с.: ил. - (Мир электроники). - Лит.: с. 188. - Свед. об авт.: с. 191. - ISBN 5-94836-039-3.Отраслевые рубрики: микроэлектроника, радиотехника, радиоэлектроника, радиоэлектронная аппаратура (РЭА), химическая технология, электроника Ключевые слова: интегральные микросхемы, технологии микроэлектроники, функциональные слои, химическое осаждение из газовой фазы (ХОГФ)
| Сигла хранения | Всего экз. | В наличии | Заказано | | абонемент | 3 | 3 | 0 | | чит. зал | 1 | 1 | 0 |
| 
Блог Мишки Б.
