Неволин В. К. Зондовые нанотехнологии в электронике / Неволин В. К. - 2-е изд., испр. - Москва: Техносфера, 2014. - 174 с.: ил. - (Мир электроники). - ISBN 978-5-94836-382-0. [подробнее]
Гаврилов С. А. Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники: учебное пособие / Гаврилов Сергей Александрович, Белов Алексей Николаевич. - 2-е изд. - Москва: РИОР: ИНФРА-М, 2019. - 240 с.: ил. - (Высшее образование: Бакалавриат). - ISBN 978-5-369-01299-4. [подробнее]
Метаматериалы и структурно организованные среды для оптоэлектроники, СВЧ-техники и нанофотоники / ответственные редакторы В. Ф.Шабанов, В. Я. Зырянов; Сибирское отделение РАН. - Новосибирск: Сибирское отделение РАН, 2013. - 368 с. - (Интеграционные проекты СО РАН; Вып. 44). - ISBN 978-5-7692-1310-6. [подробнее]
Лозовский В. Н. Нанотехнология в электронике. Введение в специальность: учебное пособие / Лозовский Владимир Николаевич, Лозовский Сергей Владимирович. - 2-е изд., стер. - Санкт-Петербург: Лань, 2019. - 332 с.: ил. - (Учебники для вузов. Специальная литература). [подробнее]
Наноматериалы. Нанотехнологии. Наносистемная техника: сборник статей / под редакцией П. П. Мальцева. - Москва: Техносфера, 2006. - 430 с. - ISBN 978-5-94836-180-2. [подробнее]
Сводное описание журнала Известия высших учебных заведений. Электроника / учредитель: Национальный исследовательский ун-т "МИЭТ"; гл. ред. Ю. А. Чаплыгин. - Москва: Московский ин-т электронной техники . - Журнал, основан в 1996 году. [подробнее]
Шишкин Г. Г. Наноэлектроника. Элементы, приборы, устройства: учебное пособие для вузов / Шишкин Геннадий Георгиевич, Агеев Игорь Михайлович. - Москва: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2011. - 408 с.: ил. - (Нанотехнологии). - Лит.: с. 404. - ISBN 978-5-9963-0638-1. [подробнее]
Войтович И. Д. Наноэлектронная элементная база информатики. Качественно новые направления / Войтович Игорь Данилович, Корсунский Владимир Моисеевич. - Москва: Национальный Открытый Университет "ИНТУИТ", 2016. - 323 с. [подробнее]
32.844.2-06 К 43 Киреев В. Ю. Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование / Киреев Валерий Юрьевич. - Долгопрудный: Интеллект, 2016. - 320 с. - Лит.: с. 314. - ISBN 978-5-91559-215-4. [подробнее]