Галперин В. А. Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: учебное пособие для вузов / Галперин Вячеслав Александрович, Данилкин Евгений Владимирович, Мочалов Алексей Иванович; под редакцией С. П. Тимошенкова. - Москва: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2015. - 283 с.: ил. - (Нанотехнологии). - Лит.: с. 275. - ISBN 978-5-9963-0032.Гриф: УМО вузов РФ по образованию в области радиотехники, электроники, биомедицинской техники и автоматизации Отраслевые рубрики: машиностроение, металлообрабатывающие процессы, техника, технология Ключевые слова: вакуумно-плазменное травление, кремниевые наноструктуры, кремний, методы контроля, плазма, плазменное травление, плазмохимическое травление, полевые кремниевые эмиттеры, полимеры, сухое травление, травление
Сигла хранения | Всего экз. | В наличии | Заказано | абонемент | 9 | 9 | 0 | чит. зал | 1 | 1 | 0 |
|