Отраслевые рубрики: радиоэлектроника, радиоэлектронная аппаратура (РЭА), техника, технология, электроника

Ключевые слова: быстрый отжиг, быстрый термический отжиг (БТО), вакуумное выпаривание, герметизация, геттерирование, диодные системы напыления, дифракция, диффузионные процессы, диэлектрические покрытия, изохорный отжиг, имплантация ионов, интегральные схемы, ионно-плазменное напыление, ионно-плазменное травление, ионное легирование, ионное осаждение, ионное перемешивание, ионное распыление, конструирование, кремниевые пластины, кремний, литография, магнетронные системы напыления, металлизация, механическая обработка, монокристаллические материалы, монокристаллический кремний, монтаж кристаллов, нанесение покрытий, направленная кристаллизация, оксидирование, оксидные пленки, оптическая литография, осаждение из газовой фазы, парогазовые смеси, плазменное травление, плазмохимическое осаждение, поликремний, полирование, проекционная электронная литография, радиационно-стимулированная диффузия, рентгеновская литография, рост кристаллов, сборка, стоячие волны, сухое травление, термические напряжения, технология производства, травление, триодные системы напыления, Фика диффузия, Чохральского метод, электронно-лучевая литография, эпитаксиальное выращивание, эпитаксия

Условия доступа:

ЭБС ЮРАЙТ
Доступ по логину и паролю. Доступ до 07.02.2024.

Сигла хранения	Всего экз.	В наличии	Заказано
абонемент	2	2	0